蒸着装置BAK

研究開発から量産までさまざまなニーズにお応えする蒸着装置 BAK

基本情報

装置名
BAK
製造元
EVATEC

おもな特長

商品仕様

蒸着方式
抵抗加熱、電子ビーム
対応ウェハー
φ2″ ~ φ8″
最大バッチサイズ
φ2″ / 330枚、φ3″ / 67枚、φ4″ / 104枚、φ6″ / 7枚、φ8″ / 28枚
アプリケーション
Power Devices、Optoelectronics、CompoundSemiconductors、MEMS、Optics
装置サイズ
W 1,454 ×D1,357 ×H1,944mm(BAK501 本体のみ)
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