スパッタリング装置／蒸着装置商品一覧

スパッタリング装置／蒸着装置

スパッタリング装置

• Radiance生産性と膜質を両立するバッチ式スパッタリング装置
• CLUSTERLINER&Dから量産まで共通プラットフォームで対応可能なクラスター型スパッタリング装置

蒸着装置

• BAK独自ハードとソフトにより高均一性を実現する蒸着装置