光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラーGBS アプリケーション事例

アプリケーション事例

粗さ試験片計測データ

Mahr surface standard MSS-3 9047438-1359

粗さ試験片計測データ

Halle surface standard KNT 4070/03-7352

粗さ試験片計測データ

Halle surface standard KNT 4058/01-7413

粗さ試験片計測データ

導入事例:2.5倍対物レンズを用いたテーパー形状量産自動検査

測定事例:マイクロバンプ

左図:測定データ(0.67mm × 0.56mm)をつなぎ合わせ、データポイント数約9億ポイントの解析
右図:同データを用いた異常箇所の検出

測定・解析事例:結晶欠陥の検出プロセス

測定事例:マイクロエレクトロニクス

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