光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラーGBS アプリケーション事例

アプリケーション事例

導入事例:2.5倍対物レンズを用いたテーパー形状量産自動検査

測定事例:マイクロバンプ

左図:測定データ(0.67mm × 0.56mm)をつなぎ合わせ、データポイント数約9億ポイントの解析
右図:同データを用いた異常箇所の検出

測定・解析事例:結晶欠陥の検出プロセス

測定事例:マイクロエレクトロニクス

このページのトップへ