光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラーsmartWLI compact仕様

新製品 フレキシブル軽量コンパクトヘッド smartWLI compact

基本仕様

項目 仕様
タイプ 光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラー
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI)
光源 白色LED
スキャナー※1 走査幅:400μm
VSI:垂直分解能1nm
EPSI:垂直分解能0.1nm
Z軸モーター※1 走査幅:5mm
VSI:垂直分解能10nm
装置制御ソフトウェア smartVIS 3D(Speedytec on GPU / real time 3D calculation)
解析ソフトウェア MountainsMap® with GBS programmed extensions
カメラ画素※2 1936 × 1216 / 2456 × 2054pixel
サイズ 210mm × 58mm × 105mm
重量 約2kg

カメラ・対物レンズ仕様

ハイスピードカメラ 1936 × 1216pixel / 166Hz
スキャン速度:250μm / s
倍率 WD(mm) サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
2.5× 10.3 3.7 7.2 × 4.5
9.3 1.9 3.6 × 2.3
10× 7.4 0.9 1.8 × 1.1
20× 4.7 0.47 0.9 × 0.56
50× 3.4 0.19 0.36 × 0.23
100× 2 0.09 0.18 × 0.11
高分解能カメラ 2456 × 2054pixel / 86Hz
スキャン速度:120μm / s
倍率 WD(mm) サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
2.5× 10.3 2.2 5.4 × 4.5
9.3 1.1 2.7 × 2.2
10× 7.4 0.55 1.3 × 1.1
20× 4.7 0.27 0.67 × 0.56
50× 3.4 0.11 0.27 × 0.22
100× 2 0.05 0.13 × 0.11

ステージ仕様

項目 仕様
X / Y マニュアル 73×55mm2
モーター駆動 75 × 50mm2
モーター駆動 100 × 100mm2
モーター駆動 150 × 150mm2
モーター駆動 200 × 200mm2
モーター駆動 300 × 300mm2
Tip / Tilt マニュアル:±3度
Z 粗動 70mm
微動 1.9mm

計測システムの設計・製造・カスタマイズ(インテグレーション)はキヤノンマーケティングジャパン(株)からの提案も可能です。

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