smartWLI Cylinderinspector3D｜仕様光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー
基本仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 計測方法 | 垂直走査型低コヒーレンス干渉法※1 |
| 装置制御ソフトウエア | smartVIS 3D |
| 解析ソフトウエア | Mountains Map® |
| 光軸方向のスキャン機構 | ピエゾ |
| 光軸方向の最大スキャン範囲 | 200µm |
| データ化 | 0.01pmまで |
| 実効分解能（システムノイズ）※2 | ＜1nm |
| 段差測定再現性 12µm段差（1σ） | ＜3nm |
| センサー重量 | 約16kg |
| 湿度 | 80％以下 結露なきこと |
| 温度 | 10℃－35℃ |
| 電源 | 100-240VAC、50／60Hz |
カメラスピード仕様
| 高分解能4MPカメラ | |
|---|---|
| 解像度 | 2000×2000 88Hz |
| 最大カメラスピード | 2kHz |
対物レンズ仕様
| 倍率 | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
|---|---|---|---|---|---|
| 作動距離（mm） | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 |
| 視野角（mm2） | 2.8×2.8 | 1.4×1.4 | 0.7×0.7 | 0.28×0.28 | 0.14×0.14 |
| 画素間隔（µm） | 1.4 | 0.7 | 0.35 | 0.14 | 0.07 |
ステージ仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| ボア径 | 70-125mm |
| 手動タイプ ストローク方向 | 最大 188nm |
| 手動タイプ ストローク方向（オプション） | 最大 270nm |
| 電動タイプ ストローク方向 | 最大 200mm |
コントロールユニット
| 構成 |
|---|
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※1
垂直走査低コヒーレンス干渉法（CSI）として、ISO 25178-604で標準化された計測手法
白色干渉計と呼ばれることもある。
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※2
gbs社はTopography reproducibilityとして定義
同一の試料を位相平均化なしで、2回測定し、2つの位相データの差分データのSq／√2の値
ただし、精密測定室の環境下、3×3画素のノイズフィルター使用、有効画素1MP程度
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