光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラーsmartWLI Cylinderinspector仕様

シリンダー内壁測定専用モデル smartWLI Cylinderinspector

基本仕様

項目 仕様
タイプ 光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラー
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI)
光源 白色LED
対応可能径 70~125mm
測定可能最大深さ 標準モデル(手動) 188mm
Extendモデル(手動) 270mm
モーター駆動モデル 約200mm
装置制御ソフトウェア smartVIS 3D(Speedytec on GPU)
垂直分解能 1nm
解析ソフトウェア MountainsMap® with GBS programmed extensions
重量 約14kg
カメラ画素 2M pixel 4M pixel
スキャン速度 20μm / s 50μm / s
装着可能対物レンズ 5× / 10× / 20× / 50× 5× / 10× / 20× / 50× / 100
対物レンズ倍率 サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2 サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
1.6 2.8 × 2.08 1.4 2.8 × 2.8
10× 0.8 1.4 × 1.04 0.69 1.4 × 1.4
20× 0.4 0.7 × 0.52 0.35 0.71 × 0.71
50× 0.16 0.28 × 0.21 0.14 0.28 × 0.28
100 - - 0.07 0.14 × 0.14

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