光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラーsmartWLI extended仕様

高機能・高速スキャン フラッグシップモデル smartWLI extended

基本仕様

項目 仕様
タイプ 光学計測機器 光学式三次元表面プロファイラー
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI)
光源 白色LED
スキャナー 走査幅:400μm
VSI:垂直分解能1nm
EPSI:垂直分解能0.1nm
装置制御ソフトウェア smartVIS 3D(Speedytec on GPU/real time 3D calculation)
解析ソフトウェア MountainsMap® with GBS programmed extensions
カメラ画素 1920×1200/2456×2054
サイズ 210mm×58mm×105mm
重量 約2kg

カメラ別仕様

ハイスピードカメラ 1920×1200/169Hz
スキャン速度:250μm/s
倍率 WD(mm) サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
9.3 1.9 3.7×2.3
10× 7.4 0.96 1.8×1.2
20× 4.7 0.48 0.91×0.58
50× 3.4 0.19 0.37×0.23
100× 2 0.1 0.18×0.12
115× 0.7 0.08 0.16×0.1
高分解能カメラ 2456×2054/77Hz
スキャン速度:120μm/s
倍率 WD(mm) サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
9.3 1.4 3.4×2.8
10× 7.4 0.69 1.7×1.4
20× 4.7 0.35 0.85×0.71
50× 3.4 0.14 0.34×0.28
100× 2 0.07 0.17×0.14
115× 0.7 0.06 0.15×0.12

ステージ仕様

項目 仕様
X/Y マニュアル 73×55mm2
モーター駆動 75×50mm2
モーター駆動 100×100mm2
モーター駆動 150×150mm2
モーター駆動 200×200mm2
モーター駆動 300×300mm2
Tip/Tilt マニュアル:±3度
Z 粗動 70mm
微動 1.9mm

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