光学計測機器 低ノイズ・高解像度モデルsmartWLI nanoscan仕様

新製品 高速スキャン・高解像度モデル smartWLI nanoscan

基本仕様

項目 仕様
タイプ 光学式三次元表面プロファイラー
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法(CSI)
光源 白色LED
スキャナー 走査幅:100μm
VSI:垂直分解能1nm
EPSI:垂直分解能0.03nm
装置制御ソフトウェア smartVIS 3D(Speedytec on GPU/real time 3D calculation)
解析ソフトウェア MountainsMap® with GBS programmed extensions
カメラ画素 2456×2054pixel
サイズ 210mm×58mm×105mm
重量 約2kg

カメラ別仕様

高分解能カメラ 2456×2054 pixel/77Hz
スキャン速度:最大200μm/s
倍率 WD(mm) サンプリング間隔(μm) 視野角(mm2
2.5× 10.3 1.4 3.4×2.8
9.3 0.7 1.7×1.4
10× 7.4 0.35 0.85×0.71
20× 4.7 0.175 0.43×0.36
50× 3.4 0.07 0.17×0.14
100× 2 0.035 0.09×0.07
115× 0.7 0.03 0.075×0.06

ステージ仕様

項目 仕様
X/Y マニュアル 73 × 55mm2
モーター駆動 75 × 50mm2
モーター駆動 100 × 100mm2
モーター駆動 150 × 150mm2
モーター駆動 200 × 200mm2
モーター駆動 300 × 300mm2
Tip/Tilt マニュアル:±3度
Z 粗動 70mm
微動 1.9mm

計測システムの設計・製造・カスタマイズ(インテグレーション)はキヤノンマーケティングジャパン(株)からの提案も可能です。

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