smartWLI extended range|仕様 光学計測機器 光学式3次元表面プロファイラー

基本仕様

項目 仕様
計測方法 垂直走査型低コヒーレンス干渉法※1
装置制御ソフトウェア smartVIS 3D
解析ソフトウェア Mountains Map®
高さ方向(Z)のスキャン機構 モーター
高さ方向(Z)の最大スキャン範囲 5000μm
extended スキャン範囲
(オプション)
モータースキャン機構 200mm(オプション)
データ化 0.01pmまで
実効分解能(システムノイズ)※2 <5nm(5MP カメラ)/<7nm(2.3MP カメラ)
段差測定再現性 0.4μm段差(1σ) <1nm
段差測定再現性 12μm段差(1σ) <3nm
段差測定再現性 100μm段差(1σ) <20nm
センサー重量 約2kg
湿度 80%以下 結露なきこと
温度 10℃-35℃
電源 100-240VAC、50/60Hz
  • ※1
    垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)として、ISO 25178-604で標準化された計測手法
    白色干渉計と呼ばれることもある。
  • ※2
    gbs社はTopography reproducibilityとして定義
    同一の試料を位相平均化なしで、2回測定し、2つの位相データの差分データのSq/√2の値
    ただし、精密測定室の環境下、3×3画素のノイズフィルター使用、有効画素1MP程度

カメラ仕様

高速2.3MPカメラ 高分解能5MPカメラ
最大解像度モード 169Hz(1920×1200 pixel) 77Hz(2456×2054 pixel)
 1倍速スキャンスピード  11.4μm/s  5.2μm/s
 5倍速スキャンスピード  56μm/s  26μm/s
サブサンプリングモード 533Hz(960×600 pixel)
 1倍速スキャンスピード  35.7μm/s  -
 5倍速スキャンスピード  178.5μm/s  -
中間ROIモード 1.4kHz(400×400 pixel) 340Hz(2456×400 pixel)
 1倍速スキャンスピード  93.8μm/s  22.8μm/s
 5倍速スキャンスピード  469μm/s  114μm/s
最小ROIモード 3.2kHz(1920×36 pixel) 2kHz(2456×2 pixel)
 1倍速スキャンスピード  214.4μm/s  134μm/s
 5倍速スキャンスピード  1,072μm/s  670μm/s
データ処理 最大10TFLOPSのGPGPU
(general purpose graphic processing unit)
を搭載し、3Dデータをリアルタイムに処理
スキャンスピード 1倍、3倍、5倍、7倍、11倍
高速プレスキャン機能搭載 「プレスキャン」機能により自動で最適なスキャンレンジを検出し、
複数の測定点でのスキャン時間を削減

対物レンズ仕様

倍率 2.5x 5x 10x 20x 50x 100x 115x
作動距離(mm) 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2 0.7
NA 0.075 0.13 0.3 0.4 0.55 0.7 0.8
高速2.3MP
カメラ
視野角
(mm2
7.3×4.6 3.7×2.3 1.8×1.2 0.91×0.58 0.37×0.23 0.18×0.12 0.16×0.1
画素間隔
(μm)
3.8 1.9 0.96 0.48 0.19 0.1 0.08
超解像度
(μm)※3
1.27 0.63 0.32 0.16 0.063 0.033 0.027
高分解能5MP
カメラ
視野角
(mm2
6.8×5.7 3.4×2.8 1.7×1.4 0.85×0.71 0.34×0.28 0.17×0.14 0.15×0.12
画素間隔
(μm)
2.8 1.4 0.69 0.35 0.14 0.07 0.06
超解像度
(μm)
0.94 0.47 0.23 0.12 0.047 0.023 0.02
  • ※3
    解析ソフトウェアMountainsMap®(Digital Surf社)の機能。有効画素数を3倍にして、リアリティある微細形状を再現。

ステージ仕様

標準スタンド
Z軸 粗動(マニュアル) 70mm
Z軸 微動(マニュアル) 1.9mm
Tip/Tilt(マニュアル) ±3°
横方向(X-Y)の移動、繋ぎ合わせ:標準X/Y ステージ
サイズ 仕様 耐荷重 分解能 真直度 エンコーダ
73×55mm2 マニュアル 1kg
75×50mm2 モーター駆動 1kg 0.01μm <10arcsec オプション
100×100mm2 モーター駆動 2kg 0.01μm <10arcsec オプション
150×150mm2 モーター駆動 3kg 0.01μm <10arcsec オプション
200×200mm2 モーター駆動 3kg 0.01μm <10arcsec オプション
300×300mm2 モーター駆動 5kg 0.01μm <5arcsec オプション
特注グラナイトポータルステージ
X/Y
X軸:門型コラム上
Y軸:テーブル上
モーター駆動 200×200mm2
モーター駆動 300×300mm2
Tip/Tilt
Y軸ステージ上
マニュアル ±3 度
モーター駆動 ±2.5 度
Z軸 モーター駆動 100mm
標準スタンド・X/Yステージ
特注グラナイトポータルステージ
  • 上図のセンサはcompact

コントロールユニット

構成
  • PC Windows10 OS
  • 装置制御ソフトウェア smartVIS3D
  • 解析ソフトウェア MountainsMap®
  • スキャン装置コントローラー
  • LED光源コントローラー
  • ステージコントローラー