ケミカルフィルター(カエル社)ターゲットガス別

お客様の要望に応じた最適なフィルターをご提案します。

工場でのターゲットガス

各フロアのMA:酸性物質、MB:塩基性物質、MC:凝縮性物質、MD:ドーパント、オゾン、揮発性有機化合物などが、それぞれの種類に合わせた外調機やフィルターを通してろ過されます。

ターゲットガスの種類

分類 濾材 物質名 影響例
酸性物質
(Acid)
イオン交換繊維
イオン交換樹脂
硫黄酸化物(SOx)、窒素酸化物(NOx)、フッ化水素(HF)、塩化水素(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)、リン、ボロン など
  • メタル配線の腐食
  • デバイス抵抗値低下
  • 電気的特性影響
塩基性物質
(Base)
アンモニア、アミン類、HMDS など
  • レジストパターンのTトップ現象
  • ウェハやレンズ、ミラー表面の曇り防止
凝縮性有機物質
(Condensable)
活性炭 シロキサン類、フタル酸ジオクチル(DOP)、フタル酸ジブチル(DBP)、リン酸トリエチル(TEP)、リン酸トリブチル(TBP)、オゾン(O3)など
  • ゲート酸化膜耐圧劣化
  • レンズ、ミラー汚染
  • 電気的特性影響
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