ケミカルフィルター(カエル社)ターゲットガス別

お客様の要望に応じた最適なフィルターをご提案します。

工場でのターゲットガス

各フロアのMA:酸性物質、MB:塩基性物質、MC:凝縮性物質、MD:ドーパント、オゾン、揮発性有機化合物などが、それぞれの種類に合わせた外調機やフィルターを通してろ過されます。

ターゲットガスの種類

分類 物質名 影響例
酸性物質(Acids) オゾン(O3)、フッ化水素(HF)、塩化水素(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)、窒素酸化物(NOx)、硫黄酸化物(SOx)など
  • メタル配線の腐食
  • デバイス抵抗値低下
塩基性物質(Bases) アンモニア、アミン類、HMDS など
  • レジストパターンのTトップ現象
  • ウェハやレンズ、ミラー表面の曇り発生
凝縮性有機物質(Condensables) シロキサン類、フタル酸ジオクチル(DOP)、フタル酸ジブチル(DBP)、リン酸トリエチル(TEP)、リン酸トリブチル(TBP)など
  • ゲート酸化膜耐圧劣化
  • レンズ、ミラー汚染
  • 電気的特性影響
ドーパント(Dopant) ボロン、リン など 電気特性異常
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