プラズマアッシング装置mattson Suprema概要

量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置 mattson Suprema

基本情報(商品構成)

mattson Suprema
装置名
mattson Suprema
製造元
Mattson Technology

特長

最先端プロセス、300mm量産ライン対応の高スループット・低CoOのプラズマアッシング装置

基本仕様

プラズマ方式 ICP
ウエハーサイズ ø12″
排気系 ドライポンプ 3式
スループット 300WPH(1µm、Over Ash 50%)
パワーソース 3.56MHz(Max:2.7kW)
ステージ温度 ~300℃
アプリケーション バルクアッシング
残渣除去(STI エッチ、ポリゲート、コンタクト、ヴィア)
高ドーズインプラ後のアッシング
ポリイミド リワーク
ディスカム
レジスト リセス
Cuパッシベーション
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