マスク向けリペア残渣およびパーティクル除去LC™-Extreme Lithography Cleaner™
ECO-SNOW Systems

基本情報

- 装置名
- LC™-Extreme Lithography Cleaner™
おもな特長
- マスク縦置きクリーニングによるパーティクル再付着を制御
- マスク表裏面クリーニングが可能
- 独自開発ノズルを採用し、最先端のパターンへのダメージレス洗浄が可能
- SMIFポッドロードロックとチャンバー内ISOクラス3環境保持機能により、クリーン環境でのプロセスが可能
商品仕様
- 装置サイズ
- W1,970×D1,890×H2,370mm
- スループット
- 4枚/時
標準搭載機能
- 露点モニタリング機能
- マスク加熱機能
- マスク上の静電気除去機能
- マスク表裏反転機構
- 完全自動SMIFポッド対応