マスク向けリペア残渣およびパーティクル除去LC™-Extreme Lithography Cleaner™
ECO-SNOW Systems

基本情報

装置名

LC™-Extreme Lithography Cleaner™

おもな特長

• マスク縦置きクリーニングによるパーティクル再付着を制御
• マスク表裏面クリーニングが可能
• 独自開発ノズルを採用し、最先端のパターンへのダメージレス洗浄が可能
• SMIFポッドロードロックとチャンバー内ISOクラス3環境保持機能により、クリーン環境でのプロセスが可能

商品仕様

装置サイズ

W1,970×D1,890×H2,370mm

スループット

4枚／時

標準搭載機能

• 露点モニタリング機能
• マスク加熱機能
• マスク上の静電気除去機能
• マスク表裏反転機構
• 完全自動SMIFポッド対応