マスクリペア装置Rhazer/Haze除去装置

基本情報

装置名

Rhazer

主な特長

半導体生産工場向けフォトマスク内Haze除去装置

• ぺリクルを剥がすことなくダメージフリーでHaze除去が可能です。
• ウエット洗浄ではなく、環境にやさしいドライ洗浄を採用しました。
• Haze除去洗浄に対するコストを大幅に削減が可能です。