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マスクリペア装置
Rhazer/Haze除去装置
基本情報
装置名
Rhazer
主な特長
半導体生産工場向けフォトマスク内Haze除去装置
ぺリクルを剥がすことなくダメージフリーでHaze除去が可能です。
ウエット洗浄ではなく、環境にやさしいドライ洗浄を採用しました。
Haze除去洗浄に対するコストを大幅に削減が可能です。
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