発表日　2003年7月10日

キヤノン販売株式会社 （社長：村瀬治男） は、米国RAVE LLC社 （社長：Barry Hopkins） と同社製マスクリペア装置 "nm650" の日本国内における独占販売契約を締結することで合意しました。2003年7月10日から同装置の販売、サービス業務を開始し、マスクリペア装置市場へ参入します。

キヤノン販売はこれまでも半導体製造装置、液晶パネル製造装置、計測装置など、様々な産業用機器を市場に投入するとともに、活発な販売、サービス活動を行なってきました。
今後ますます成長が期待される半導体フォトマスク市場に向け、半導体市場での強固な販売およびサポート力のあるキヤノン販売と、日本市場への販売拡大をめざすRAVE社との方向性が一致し、日本国内の独占販売契約を締結することで合意しました。

"nm650" は、AFM （原子間力顕微鏡） を応用したナノマシニング技術により、90nm～65nmノードの最先端半導体デバイス向けフォトマスクを高精度に修正することを実現しています。従来の修正装置では困難だった製造工程で汚染された未知材料の欠陥修正を可能にしています。また、FIBなどの従来技術では困難だったクオーツ欠陥を深さ方向に対して高精度に修正することが可能です。
また、フォトマスク製造工程で生じる欠陥部分を高精度に修正し、高価な最先端フォトマスクの歩留まりを大きく向上させることで、年間数億円のコスト削減を可能にしています。