ニュースリリース

発表日 2001年1月16日

カラーフィルター基板露光装置“キヤノン MPA-5500CF”を出荷開始



キヤノンはこのほど、LCD(液晶表示装置)用カラーフィルター基板露光装置“キヤノン MPA-5500CF”を開発し、今月より出荷を開始します。

キヤノン MPA-5500CF
キヤノン MPA-5500CF

● キヤノン MPA-5500CF‥‥‥‥‥‥価格(税別)6億円(出荷開始:2001年1月)

構成により異なる。

この件に関するお問い合わせ先

キヤノン販売株式会社 半導体機器販売推進第一課

TEL 03−3740−3368




カラーフィルターとは、LCDをカラー化するための部材で、ガラス基板上に赤・緑・青の3原色パターンが規則正しく配列されたものです。今後、デスクトップ型パソコンの液晶モニターをはじめ、液晶テレビとしての用途が急拡大するのに伴い、カラーフィルターにおいても大型化・高精細化が求められています。現在、カラーフィルター製造で使われる露光装置はプロキシミティ方式が主流となっています。これは、マスクと基板をわずかな間隔で近接させて露光するため、(1)高精細化に対応するには解像力が不足する、(2)熱収縮しやすい基板でのアライメント(位 置合わせ)が難しい、(3)基板とマスクの接触ダメージによりマスクコストが増大する、といった課題を抱えています。

新製品“キヤノン MPA-5500CF”は、半導体露光装置や液晶基板露光装置で高い評価と多くの実績をもつ等倍反射投影光学系を使用した、大画面 を一括スキャン露光するミラープロジェクション方式を採用し、カラーフィルター製造で必要なカラーレジスト(感光性樹脂)露光を可能にしています。昨年4月より出荷を開始した液晶基板露光装置「MPA-5500b」のすぐれた基本構造を継承することに加え、新開発の25ミリ幅スリットの採用により、「MPA-5500b」と比較して露光照度が1.6倍となるため、生産性の大幅な向上を実現します。

また、露光工程においては、光遮断用のブラックマトリックス、および赤・緑・青のセル毎にマスクを用意して4回の重ね合わせを行うため、各カラーレジストを通 して行われるアライメントの検出率が重要となります。“MPA-5500CF”では、赤・緑・青の3色のカラーレジストだけでなく、黒色レジストにも対応した新開発のアライメントシステムを搭載することで高い検出率を実現したほか、基板の伸縮に柔軟に対応する倍率補正機能を装備することにより、液晶基板と貼り合わせる際に発生する倍率誤差をきわめて小さくすることが可能です。これにより、1.2マイクロメートルという高いオーバーレイ精度を実現するとともに、高い歩留まりを達成しています。
さらに、マスクと基板の接触ダメージが発生しないため、基板サイズの大型化に伴って増大するマスクコストの大幅な抑制に貢献することができます。

スループット(単位時間当たりの処理能力)としては、大型ミラー投影系の搭載をはじめ、マスクと基板の個別 スキャンシステムや高照度照明系などを採用することにより、12型パネルで毎時450枚、15型パネルで毎時320枚、20型パネルで毎時200枚(いずれも基板サイズ680mm×880mmの場合)と、「MPA-5500b」と同等の高いスループットを実現しています。

なお、新しいプロセス技術として、ガラス基板上にカラーフィルターを直接形成することで歩留まりの向上が図れるCOT(カラーフィルター・オン・TFT)技術が注目されていますが、“MPA-5500CF”は、「MPA-5500b」と本体構造、コンピューターシステム、操作性、メンテナンスなどが共通 化されているため、ミックス・アンド・マッチが効率よく行え、COTプロセスにおいてもトータルでの高い生産性と高精細化を実現します。

カラーフィルターは、基板あるいはガラス表面 上に(1)ブラックマトリックス(BM)、(2)カラー表示用の着色パターン(赤・緑・青)、(3)着色パターンの保護膜、(4)液晶を駆動するための透明電極板から構成されています。

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