ニュースリリース


発表日 2001年9月11日


大型液晶ディスプレイに対応した液晶基板露光装置
世界最大の基板サイズ1,000mm×1,200mmで全面露光が可能な“キヤノン MPA-7000”



キヤノンはこのほど、1,000mm×1,200mmという世界最大※1の基板サイズの全面露光を実現することで、最大32型までの大型液晶ディスプレイを効率よく量産できる液晶基板露光装置“キヤノン MPA-7000”を開発し、今月より出荷を開始します。

キヤノン MPA-7000
キヤノン MPA-7000

キヤノン MPA-7000‥‥‥‥‥‥価格(税別)8億3千万円
(構成により異なる)
(発売日:2001年9月)

この件に関するお問い合わせ先

キヤノン販売株式会社 半導体機器販売推進第一課

TEL 03−3740−3368




新製品“キヤノン MPA-7000”は、半導体露光装置や液晶基板露光装置で実績のある等倍反射投影光学系を使用して、大画面を一括スキャン露光するミラープロジェクション方式を採用した最新モデルです。世界最大の1,000mm×1,200mmという基板サイズに対応し、1基板当たり15型パネルで12面、18型パネルで9面、23型パネルで6面、さらに32型ワイドTV用パネルで2面の面取りが可能です。
スループット(単位時間あたりの処理能力)としては、同基板サイズの場合に、15型パネルで毎時560枚、18型パネルで毎時390枚、23型パネルで毎時250枚、32型ワイドTV用で毎時130枚という高スループットを実現しています。この数値は、18型パネルで比較した場合、現行製品の “MPA-6000”に対して1.6倍※2になります。また、大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要になり、トータルでの生産効率の向上を図ることが可能です。

※1 2001年9月5日現在
※2 標準として使用されている730mm×920mm基板の場合

【液晶パネル製造装置の市場動向】
2001年度の液晶パネル製造装置の販売額は、全世界で対前年比39%減の1,675億円、国内は同42%減の759億円と予測されていますが、2002年度には全世界で50%以上、国内でも40%近い伸びが期待されています。(出典:SEAJ。日本製製造装置の販売高。)

【開発の背景】
液晶基板露光装置の市場では、ガラス基板のさらなる大型化に対する要望が依然として強い状況です。キヤノンでは、本年1月より最大基板サイズ880mm×1,000mmに対応した「MPA-6000」の出荷を開始しました。新製品“キヤノン MPA-7000”は、「MPA-6000」と同様に、半導体露光装置や液晶基板露光装置で高い評価と多くの実績をもつミラープロジェクション方式を採用した最新鋭モデルで、1,000mm×1,200mmというさらに大型のガラス基板に対応しています。



【特長】

  1. 世界最大の基板サイズ

    半導体露光装置、液晶基板露光装置で実績のあるミラープロジェクション方式を採用するとともに、大型ミラー投影系や、エアベアリング・リニアモーター駆動を利用した高速・高精度の大型ガラス基板用ステージを導入しています。これにより、世界最大サイズである1,000mm×1,200mmの全面露光を可能にし、1基板あたり15型パネルで12面、18型パネルで9面、23型パネルで6面、さらに32型ワイドTVで2面という面取りが可能です。

  2. 32型ワイドまでの一括露光

    大型ミラー投影系の搭載により、最大で32型ワイドTV用のパネルまで継ぎ目なく一括露光することが可能です。大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

  3. 高スループット

    大型ミラー投影系を搭載し、マスクと基板の個別スキャンシステムや高照度照明系を採用することにより、基板サイズ1,000mm×1,200mmの場合に15型パネルで毎時560枚、18型パネルで毎時390枚、23型パネルで毎時250枚、また32型ワイドにおいても、毎時130枚という高スループットを実現しています。

  4. マスクコストの削減

    パネルのサイズに合わせて、標準マスク520mm×610mm、ロングマスク520mm×800mmの2種類のマスクを自動選択、自動装着できる機能を新たに導入することにより、マスクコストの削減に貢献します。




【主な製品仕様】

項目内容
投影光学系等倍反射投影光学系
縮小比1:1(等倍)
解像力4マイクロメートル(14mmスリット幅使用時)
3マイクロメートル(9mmスリット幅使用時)
焦点深度±30マイクロメートル(14mmスリット幅使用時)
±20マイクロメートル(9mmスリット幅使用時)
最大一括露光パネルサイズ32型ワイドTV
マスクサイズ

標準:520mm×610mm
ロングマスク: 520mm×800mm

最大基板サイズ1,000mm×1,200mm
オーバーレイ精度3σ≦1.0マイクロメートル
スループット560枚/時(15型パネル12面取りの場合)
390枚/時(18型パネル9面取りの場合)
250枚/時(23型パネル6面取りの場合)
130枚/時(32型ワイドTV2面取りの場合)
外形寸法5,300(幅)×5,500(奥行)×3,264(高さ)mm
質量16,300kg(本体部のみ)
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