ニュースリリース


発表日 2002年3月7日

世界最大の基板サイズ1,100mm×1,250mmで全面露光が可能なLCD用露光装置
○ 液晶基板露光装置“キヤノン MPA-7500”
○ カラーフィルター基板露光装置“キヤノン MPA-7500CF”



キヤノンはこのほど、1,100mm×1,250mmという世界最大基板サイズの全面露光を実現することで、最大32型までの大型液晶ディスプレイを効率よく量産できる液晶基板露光装置“キヤノン MPA-7500”およびカラーフィルター基板露光装置“キヤノン MPA-7500CF”を開発し、7月より出荷を開始します。

2002年3月1日現在

MPA-7500MPA-7500CF
MPA-7500MPA-7500CF


キヤノン MPA-7500‥‥‥‥‥‥価格(税別)9億円(発売日:2002年7月)
 
キヤノン MPA-7500CF‥‥‥‥‥‥価格(税別)9億円(発売日:2002年7月)

この件に関するお問い合わせ先

キヤノン販売株式会社 半導体機器販売推進第一課

TEL 03−3740−3368




新製品“MPA-7500”および“MPA-7500CF”は、等倍反射投影光学系を使用して、大画面を一括スキャン露光するミラープロジェクション方式を採用した最新モデルです。世界最大の1,100mm×1,250mmという基板サイズに対応し、1基板あたり15型パネルで15面、17型パネルで12面、18型パネルで9面、23型パネルで6面、さらに32型ワイドTV用パネルで2面という面取りが可能です。
スループット(単位時間あたりの処理能力)としては、同基板サイズの場合に、15型パネルで毎時680枚、17型パネルで毎時510枚、18型パネルで毎時380枚、23型パネルで毎時245枚、32型ワイドTV用で毎時127枚という高スループットを実現しています。
また、大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要になり、トータルでの生産効率の向上を図ることが可能です。

また、両製品は、本体構造、コンピューターシステム、操作性、メンテナンスなどが共通化されているため、ミックス・アンド・マッチが効率よく行え、ガラス基板上に直接カラーフィルターを形成する新しいプロセス技術においても、歩留まりの向上に貢献し、高い生産性を実現します。

【液晶パネル製造装置の市場動向】
2001年度の液晶パネル製造装置の販売額は、全世界で対前年比29%減の1,950億円、国内は同24%減の995億円と予測されていますが、2002年度は全世界、国内ともに市況の伸びが期待されています。(出典:SEAJ。日本製製造装置の販売高。)

【開発の背景】
液晶基板露光装置の市場では、ガラス基板のさらなる大型化に対する要望が強くあります。キヤノンでは、昨年9月より最大基板サイズ1,000mm×1,200mmに対応した「MPA-7000」の出荷を開始しました。今回発売の“MPA-7500”は、1,100mm×1,250mmとさらに大型のガラス基板に対応した最新鋭モデルです。
一方、カラーフィルターについても大型化・高精細化が求められています。現在、カラーフィルター製造で使われる露光装置は、プロキシミティ方式が主流となっています。これは、マスクと基板をわずかな間隔で近接させて露光するため、(1)高精細化に対応するには解像力が不足する、(2)熱収縮しやすい基板でのアライメント(位置合わせ)が難しい、(3)マスクが基板との接触によりダメージを受けるため、マスクコストが増大する、といった課題を抱えています。このように、大型化・高精細化に対応するには、解像力やオーバーレイ精度、マスクコストの点で、プロキシミティ方式では限界があります。
キヤノンのカラーフィルター基板露光装置は、半導体露光装置や液晶基板露光装置で高い評価と多くの実績をもつミラープロジェクション方式を採用することにより、これらの問題を全て解決します。新製品“MPA-7500CF”は、最大基板サイズ880mm×1,000mm に対応した「MPA-6000CF」(本年第1四半期出荷開始)の後継機で、“MPA-7500”と同様の1,100mm×1,250mmという世界最大の基板サイズに対応した最新鋭モデルです。今回開発した“MPA-7500”と“MPA-7500CF”の両製品が、デスクトップ型パソコンの液晶モニターから液晶テレビをはじめとする液晶ディスプレイの市場拡大に大きく貢献すると考えます。


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