石英ナノ加工カスタム加工

カスタム加工 先端半導体プロセスを使用した超微細パターンの提供

基本情報

商品名

おもな特長

カスタム対応

カスタム品 仕様

パターン形状 L&S、ホール、ピラー、多段形状、他
周辺部の凹凸の選択
ホール、ピラーの場合の配列選択 正方配列/三角配列
ホール、ピラーの場合のピッチ寸法
側壁角度
深さ
各寸法公差
パターン領域 最大ø200mm
外形寸法 最大ø200mm
基板厚 0.625mm / 0.85mm / 1.00mm(別途 0.5mm~1.0mm間で対応可能)
基板材質 合成石英。その他、Si基板なども対応可(ご相談ください)
その他 検査項目
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