受託体制

保有設備一覧

主な所有設備

プロセス分類 設備 プロセス分類 設備
フォトリソ関連
装置
コーター・デベロッパー 切断装置 ダイサー
KrFスキャニングステッパー 2流体洗浄装置
i線ステッパー 計測関連装置 測長SEM/FE-SEM/EDS
両面アライナー 光学顕微鏡
マスクレス露光装置 自動座標測定機
成膜装置 熱酸化炉 共焦点顕微鏡
TEOS-CVD 光干渉形状測定器
スパッタ装置 AFM
EB蒸着装置 触針式段差計
エッチング装置 RIE装置 回折効率測定装置
リフトオフ装置 光干渉式膜厚計
プラズマ・アッシング装置 応力測定装置
ウェットエッチング装置 プローバー
ウェット洗浄装置 パターン検査装置
接合装置 陽極接合装置 異物検査装置
常温接合装置 全反射蛍光X線分析装置
その他各種接合装置  

受託加工の流れ

お問合せから量産化までのご相談・サポート体制

半導体プロセスで用いられる一連の加工設備や測定機器を保有。
自社内完結で短納期対応やお客様のご要望にお応えできます。

半導体プロセスで用いられる一連の加工設備や測定機器を保有。自社内完結で短納期対応やお客様のご要望にお応えできます。

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